氫氣MEMS氣體傳感器
氫氣MEMS氣體傳感器是為了降低使用成本、方便家用而研發(fā)的氫氣傳感器。氫氣MEMS氣體傳感器采用微型化設(shè)計(jì)，諧振頻率高，功耗低，響應(yīng)時(shí)間短，提高了傳感器本身的靈敏度。利用MEMS工藝制作微熱板，并所使用的氣敏材料是在清潔空氣中電導(dǎo)率較低的金屬氧化物半導(dǎo)體材料作。適用于家用等檢測(cè)氫氣氣體濃度的場(chǎng)合。
- 氣體類型： 氫氣
產(chǎn)品介紹：
氫氣MEMS氣體傳感器是為了降低使用成本、方便家用而研發(fā)的氫氣傳感器。氫氣MEMS氣體傳感器采用微型化設(shè)計(jì)，諧振頻率高，功耗低，響應(yīng)時(shí)間短，提高了傳感器本身的靈敏度。利用MEMS工藝制作微熱板，并所使用的氣敏材料是在清潔空氣中電導(dǎo)率較低的金屬氧化物半導(dǎo)體材料作。適用于家用等檢測(cè)氫氣氣體濃度的場(chǎng)合。
產(chǎn)品參數(shù)：
檢測(cè)氣體：H2
H2測(cè)量范圍：0-5000ppm
H2測(cè)量靈敏度S：RO/RS≥2
H2濃度斜率a：≤0.9
回路電壓Vc：≤24V DC
加熱電壓VH：2.8士0.1V AVorDC
負(fù)載電阻RL：可調(diào)
加熱電阻RH：80?土20?(室溫)
加熱功耗PH：≤80mW
敏感體電阻Rs：1K?~30K?
溫度：20°C士2°C
濕度：55%RH土5%RH
標(biāo)簽:
氫氣MEMS氣體傳感器
